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工業氣體的14種分類你都知道了麽

工（gōng）業氣體在國（guó）家標準《常用危險化學品的分類及（jí）標誌（zhì）》（GB13690-1992）中，通常被劃為第2類（lèi）壓縮氣體和液化氣體。 這類化學品係指壓縮、液化或加壓溶解的氣體。氣體經加壓或降低溫度，可以使氣體分子間的距離大大縮小（xiǎo）而被壓（yā）入鋼瓶中，這（zhè）種氣體（tǐ）稱為壓縮氣體（亦稱為永（yǒng）久氣體， 如氧氣、氮氣、氬氣、氫氣等）。對壓縮氣體繼續加壓， 適當降溫，壓縮氣（qì）體就會變成液體的，稱為液化氣（qì）體（如液氯、 液氨、液體二氧化碳等）。此外，還有一種性（xìng）質極為不（bú）穩定的氣體，加壓後需溶於溶劑中儲存在鋼瓶內，這種氣（qì）體稱為溶解氣（qì）體（如溶（róng）解乙炔等）。

1. 特種（zhǒng）氣體(Specialty gases) ：指那些在特定領域中應用的, 對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高（gāo）純單（dān）質氣體配製的二元或多（duō）元混合氣（qì）。特種氣體門（mén）類繁多, 通常可區分為電子氣體、標準氣（qì）、環保氣、醫用氣（qì）、焊接氣、殺菌氣（qì）等, 廣泛用於電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色（sè）金屬冶煉、熱力工程、生化、環境（jìng）監測、醫學研究及診斷、食品保鮮等領域。

2、標準氣（qì）體(Standard gases) ：標（biāo）準（zhǔn）氣體屬於標準物質。標準物（wù）質（zhì）是高度均（jun1）勻的、良（liáng）好穩定和量值準確的測定標準, 它們具有複現、保存和傳遞量值的基本作用, 在物理、化（huà）學、生物與工程（chéng）測（cè）量（liàng）領（lǐng）域中用於校（xiào）對( [準測量儀器和（hé）測量過程, 評價測量方法的準確度和檢測實（shí）驗室的檢測能力, 確定材料或產品的特性量值, 進行量值仲（zhòng）裁等。大型乙烯廠（chǎng）、合成氨廠及其它石化企業, 在裝置開車、停車和正常生產過程中需要幾十種純氣和幾+百種多組分標準混合氣, 用來校準、定（dìng）標生產過程中使（shǐ）用（yòng）的在線分析儀器和分（fèn）析（xī）原料及產品質量的儀器。標準氣還（hái）可（kě）用於環境監測（cè）, 有毒的有機物測量, 汽車排放氣測試, 天然氣BTU 測量, 液化石油氣校正（zhèng）標準, 超臨界流體工藝等。標準氣視氣體組（zǔ）分數區分為二元、三元和多元標準氣（qì）體; 配氣準度要求以配氣（qì）允差和分析允差（chà）來表征;比較通用的有SE2M I 配氣允差標準, 但（dàn）各公司均（jun1）有企業標（biāo）準。組分（fèn）的最低濃（nóng）度為10- 6級, 組分數可多達20餘種配製方法可采用重量法, 然後用色譜分析（xī）校核, 也可按（àn）標準傳遞程序（xù）進行傳遞。

3、 電（diàn）子氣體(Electronic gases) ：半導體工業用的氣體統（tǒng）稱電子氣體。按其門類可分為純氣、高純氣和（hé）半導體特殊材料氣體三大類。特殊材（cái）料氣體主要用於外延、摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電（diàn）子氣體是特種氣（qì）體的一個（gè）重要分支。電子氣體按純度等級和（hé）使用場合，可分為電子級、LSI(大規模集成電（diàn）路) 級、VLSI (超大規（guī）模（mó）集成電路) 級和ULSI (特大規模集成電路)級。

4. 稀有氣體(Rare Gases)：元素周期表最後一族的六種惰性氣體中的（de）任（rèn）何一種氣（qì）體, 即氦、氖（nǎi）、氬、氪、氙、氡。前五種氣體均可以空氣分離方法從（cóng）空氣中提取。

5. 焊（hàn）接保護氣體(Welding Gases)：氣體保（bǎo）護（hù）焊由於具有（yǒu）焊接質量好, 效率高, 易實現自動化（huà）等優點而得以（yǐ）迅速發展。焊接保護（hù）氣（qì）體（tǐ）可以是（shì）單元（yuán）氣（qì）體, 也有（yǒu）二（èr）元、三元混（hún）合氣。采用焊接保護氣的（de）目的在於（yú）提（tí）高焊縫質量, 減少焊縫加熱作用帶寬度, 避免材（cái）質氧化。單（dān）元氣體有氬氣（qì）、二氧化碳, 二元混合氣有（yǒu）氬和氧, 氬和二（èr）氧化碳, 氬和氦（hài）, 氬和氫混合氣（qì）。三元混（hún）合氣有氦（hài）、氬（yà）、二（èr）氧化碳（tàn）混合氣。應用中（zhōng）視焊材不同選擇不同（tóng）配比的焊接混合氣。

6. 蝕刻氣體(Etching gases) ：蝕刻就是把基片（piàn）上無光刻膠掩蔽的加工（gōng）表麵如氧化矽膜、金屬膜等蝕刻掉, 而使有光刻膠掩蔽的區域保存下來, 這樣便在基片表（biǎo）麵得（dé）到所需要的（de）成像圖形。蝕刻的基本要求是（shì）, 圖形（xíng）邊（biān）緣（yuán）整齊, 線條清晰, 圖（tú）形變換差小, 且對光刻膠膜及其（qí）掩蔽保護的表麵無損傷（shāng）和鑽蝕。蝕刻方式有濕法化學蝕刻和幹法化學蝕刻。幹法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為（wéi）氟化物氣體, 例如四氟（fú）化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟（fú）丙（bǐng）烷、三氟甲烷（wán）等。幹法蝕刻由於蝕（shí）刻方向性強、工藝（yì）控製精確、方便（biàn）、無（wú）脫膠現象（xiàng）、無基片損傷和沾汙, 所以其應用範圍日（rì）益廣泛。

7. 熏（xūn）蒸氣體(Sterilizing Gases) ：具有殺菌（jun1）作用的氣體稱熏蒸氣體（tǐ）。常用的氣體品種有環氧乙烷、磷烷、溴甲（jiǎ）烷、溴甲醛、環（huán）氧丙烷（wán）等。其滅菌原理是利用烷化作用, 使微生（shēng）物組織內維持生命不可缺少的物質惰化。最經常使用的（de）是以不同比例配製（zhì）的環氧乙烷和二氧化碳的混合氣, 根據用途不同, 環氧乙烷的含量可以是10%、20%和30%等。也（yě）可采用環氧乙烷和氟利昂12的混合氣,環氧乙烷與（yǔ）氟利昂11和氟利昂12的混合氣等。殺（shā）菌效果與各組分濃度、溫度、濕度、時間和壓力等因（yīn）素有關。熏蒸（zhēng）氣體（tǐ）可以用於衛生材料、醫療器具、化妝（zhuāng）品原料、動物飼料、糧食（shí）、紙鈔、香辣

8. 摻雜氣體（tǐ）(Dopant Gases)：在半導體器（qì）件和集成電（diàn）路（lù）製造（zào）中, 將某（mǒu）種或某些雜質摻入半導體材料內（nèi）, 以使材料具有（yǒu）所需要的導電類型和（hé）一定的電阻率, 用來製造PN結（jié）、電（diàn）阻、埋層等（děng）。摻雜工藝所用（yòng）的（de）氣體摻雜源（yuán）被稱為摻雜氣體。主（zhǔ）要包括砷烷、磷烷、三（sān）氟化磷、五氟化磷、三氟化（huà）砷（shēn）、五（wǔ）氟化砷、三氯化硼和乙硼烷（wán）等。通常將摻雜源與運載氣體(如氬氣和氮氣) 在源櫃中混合, 混合後氣流連續流入擴散（sàn）爐內環繞晶片（piàn）四周, 在晶片表麵沉積上化合物摻雜劑, 進而與矽反應生成（chéng）摻雜金屬而徙動進入矽。

9. 離子注入氣（qì）( Gases for IonImplantation)：離子注入是把離子化的雜質, 例如P + 、B + 、As+加速（sù）到高能量狀態,然後注入到預定的襯底上（shàng）。離子注（zhù）入技術在控（kòng）製（zhì）Vth(閾值電壓) 方麵應（yīng）用得最為廣泛。注（zhù）入（rù）的（de）雜質量可通過測量離子束電流而求得。離子注入工藝所用氣體稱離子注入（rù）氣, 有磷係、硼係和（hé）砷係氣體。

10. 非液化氣體(Nonliquefied Gases)：壓縮氣體依據於一定壓力和溫度下在氣瓶中的物理狀態和沸點（diǎn）範（fàn）圍可以區分為兩大類, 即液化氣體（tǐ）和非液化氣體。非液（yè）化（huà）氣體係指（zhǐ）除溶解在溶液（yè）中的氣體之外, 在2111℃和罐裝壓力下完全是氣態的氣體。也可定義為（wéi）在正常地麵（miàn）溫度和13789～17237kPa 壓力下不液化的氣體。

11. 液化（huà）氣體( Liquefied Gases )：在2111℃和罐裝壓（yā）力（lì）下部分（fèn）液化的氣體（tǐ）。或定義為在正常溫度和172142～17237kPa壓力下在氣瓶中液化的氣體。壓縮氣體(Compressed Gases)壓縮氣體是指（zhǐ）在2111℃下, 在氣瓶中絕對壓力超過27518kPa的任何氣體（tǐ）或混合物; 或與2111℃下的壓力無關, 於5414℃下絕對壓力超過717kPa 的任何氣體或混合物; 或於3718℃下氣體（tǐ）絕對壓力超27518kPa的任何液體。

12. 外延氣體(Cpitaxial gases) ：在仔細選（xuǎn）擇的襯底上采用化學（xué）氣（qì）相澱（diàn）積(CVD) 的方法生長（zhǎng）一層或多層材料所用氣體稱為外延（yán）氣體。矽外延氣體有4 種, 即矽烷、二氯二氫矽、三氯（lǜ）氫矽和四氯化矽, 主要用於外延矽澱積, 多晶矽澱積, 澱積氧化矽膜, 澱積氮化矽膜, 太陽（yáng）電池和其他光感受器的非（fēi）晶矽膜澱積。外延生長是一種單晶材料澱積並生長在襯底表麵上的過程。此外延（yán）層的電阻率往往與襯（chèn）底不同。

13. 低壓液化氣體(Low Pressure Liquefied Gases) ：臨界溫度大於70℃的氣體。區（qū）分為不燃無毒和不燃有毒、酸性腐蝕（shí）性氣體; 可燃無毒和（hé）可燃有毒、酸性腐（fǔ）蝕（shí）性氣體; 易分解或聚合的（de）可燃氣體（tǐ）。此類（lèi）氣體在充裝時以及在允許的工作溫度下貯（zhù）運和使用過程中均為液態（tài）。包（bāo）括的氣（qì）體品種有一氟二氯（lǜ）甲（jiǎ）烷、二氟氯甲烷、二氟二氯（lǜ）甲烷、二氟溴（xiù）氯（lǜ）甲烷、三氟氯乙（yǐ）烷、四氟二氯乙烷、五氟氯乙烷、八氟環丁烷、六氟丙烯（xī）、氯、三氯化硼、光氣、氟化氫（qīng）、溴（xiù）化氫、二氧化硫、硫酰氟、二氧化氮、液壓石油氣、丙烷、環丙烷、丙烯、正丁烷、異丁烷、1- 丁烯、異丁烯、順- 2-丁烯、反- 2- 丁烯、R142b、R 143a、R152a、氯乙烷、二甲醚、氨、乙胺、一甲胺、二甲胺、三甲胺、甲硫醇、硫化氫、氯甲烷、溴甲烷、砷烷、1, 3—丁（dīng）二烯、氯乙烯（xī）、環氧乙烷、乙烯基甲醚（mí）、溴乙烯。

14. 高壓液化氣體(High Pressure Liquefied Gases) ：臨界溫度大於或（huò）等於-10℃且小於或等（děng）於70℃的氣體。區分（fèn）為不燃無毒和不燃有毒氣體; 可燃無（wú）毒和自燃有毒氣體; 易分解或聚合的可燃氣體。此類氣體充裝時為液態,但在允許的工作（zuò）溫度下貯運和使用過程中其蒸汽壓隨溫度的升高而升（shēng）高, 超過臨（lín）界溫（wēn）度時蒸發為氣體。所包括（kuò）的氣體品（pǐn）種有一氧化二氮、二氧化碳、三（sān）氟甲烷、三氟氯甲烷（wán）、三氟溴甲烷、六氟乙烷（wán）、六氟化硫、氙、氯化（huà）氫、乙烷、乙烯、1, 1- 二氟乙烯、矽烷、磷烷、氟乙烯、乙硼烷。